凈化車間的潔凈度級別通常分為:百級、千級、萬級、十萬級和三十萬級。十萬級凈化車間一般適用于電子儀器儀表、計算機房、半導體廠、印刷廠、汽車工業(yè)、航天工業(yè)、光刻和微機制造等行業(yè)中。十萬級凈化車間的要求不僅僅是需要空氣潔凈度為十萬級,還需要保證能達到除靜電的效果。在十萬級凈化車間中,塵粒1大允許數(shù)≥0.5微米的粒子數(shù)不允許超過350萬個;換氣次數(shù):10-15次/小時;壓差:主車間相對相鄰房間≥5pa;溫度:冬季>16℃±2℃;夏季小于26℃±2℃;相對濕度:45-65%(RH);噪聲≤65dB(A);新風補充量:總送風量的20%-30%;照度大于等于300Lux。
凈化車間主要作用在于控制產(chǎn)品所接觸的大氣的潔凈度及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,以保證產(chǎn)品質量,凈化車間,此空間我們稱之為凈化車間。潔凈區(qū)的主體結構不宜采用內(nèi)墻承重,主體結構的耐久性需要與室內(nèi)裝備和裝修水平相協(xié)調,凈化車間 彩鋼板,并具有防火、控制溫度變形和不均勻沉陷的性能;潔凈室頂棚,墻面和地板的材料必須是不易破1裂、不易沾顆粒,以及幾乎不起塵的。另外根據(jù)房間不同的工作條件,還必須考慮材料的化學性能是否穩(wěn)定;潔凈室的高度以凈高控制,凈高應以100mm為基本模數(shù);凈化車間廠房的變形縫應盡量避免穿過潔凈區(qū);送、回風管和其他管線需暗敷時,應設置技術夾層、技術夾道或地溝等。
無塵車間生產(chǎn)對于濕度控制是非常重要的條件之一,無塵車間、潔凈室運作過程中一個常用的環(huán)境控制條件是相對濕度。半導體無塵車間、潔凈室中的典型的相對濕度的目標值大約控制在30至50%的范圍內(nèi),允許誤差在±1%的狹窄的范圍內(nèi),例如光刻區(qū)或者在遠紫外線處理(DUV)區(qū)甚至更小而在其他地方則可以放松到±5%的范圍內(nèi)。